氦质谱检漏仪-氦质谱检漏仪厂-首选科仪创新真空

氦质谱检漏仪的基本原理与结构

随着科技的迅猛发展，氦质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检涮仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观较新氦质谱检漏仪的性能特点发现，氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等先进方向发展，这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求，也极大的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。氦质谱检漏仪的基本原理与结构氦质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质分析器，

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流的产品。

机械泵的工作方式不一样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。

氦质谱检漏仪的主要配置

科仪创新产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等高新技术产品。今天科仪创新的小编就和大家分享一下氦质谱检漏仪的主要配置有哪些，希望对您有所帮助！

1. 检漏仪专用分子泵

2. 机械泵或者干泵

3. 定制检漏仪专用电磁阀

4. 内置标准漏口

5. 放大器

6. 采用质谱专用模块

真空箱法氦质谱检漏的原理与系统特点

真空箱法氦质谱检漏的充气回收检漏系统

1．配置与气路控制

真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。

工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：氦气储存罐(高压罐)，氦气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。

真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、PLC系统(可编程逻辑控制器)，充氦回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。

2.系统检测过程

1)、通过v1、V4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭V1，打开V2

2)、充氦系统通过V2对工件进行充氦至核定的压力，稳定，关闭V2

3)、关闭V4，打开V3、V5，处在正常工作状态待命的氦质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断V3、V5，打开V2对氦气进行回收。

4)、关闭V2打开V6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。

5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的氦气回收，对真空箱和管道巾的氦气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。

6)、维持泵有一定的氦分流作用，不宜过大(不超过41)，清洁泵也同样。

3．氦质谱检漏仪系统特点

1)、真空箱法充气网收检漏系统，可以完全或部分地模拟零部件的工作情况(工况)，几乎完全避免了负压检漏的漏报现象，由机器来判定工件的合格与否，排除厂人的书观因素，因此是可靠的，氦质谱检漏仪，系统是定性检漏，排除了单个漏孔合格，而整个工件有多个更小的漏孔，而工件出现不合格的漏检现象。

2)自动完成充氦回收工作，可使氦气能循环利用(95％以上)，降低了成本和工作场地氦本底的降低，检漏工作能够连续和顺利进行。

3)整体设计在生产线上大批的流水作业，节约劳动力。

4)真空箱内可设计成1-2个被检件，提高工效和设备利用率，真空箱工位订设计成1-4个(根据：工件大小尺寸，检漏节拍和漏率要求而定)，提高了抽气速率(时间上互相覆盖)，节省抽空时问，提高工作节拍。(25秒-90秒/件)

5)整体采用国产件(关键部件采用进口件)，拥有进口设备质量，可降低整机费用3/2左右(与整体进门设备比)，且有维护方便及时的优越性。

6)对关键器件的要求

①检漏仪，一般要求灵敏度在10-10Pa·m3/s以上，反应3秒以内，具有声光报警和本底低(或能快速清除)，国产检漏仪基本能满足要求，可以说是价廉物美，选用困外的检漏仪当然更好，但一般为国产仪器价格的一倍多。

②压缩机：是工业用压编机中的一种小型机，对压力，要满足使用条件，不能有漏，氦质谱检漏仪哪家好，原则上选用合资的或进口的为好。

③泵系统：要求抽速速大，噪声低，低返流(加油雾分离器)，采用国产和合资的产品即可。

④阀门：要求一定的耐压，密封性和可靠性要好，氦质谱检漏仪厂家，山于使用不多，一般采用进口的为好。

⑤压力传感器，真空计，PLC可编程控制器等，采用合资的或进口的都可以。

结束语

真空氦质谱检漏技术为汽车工业许多零部件的检漏提供了灵敏可靠的检测手段，真空氦质谱检漏技术在汽车工业以至其他领域在泄漏检测方而已经取得了主导地位，并将继续扩大。

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